质量流量计是一种..测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。质量流量传感器直接计量气体质量流量，有很高的测量精度，是对应于标准状态下(101.325kPa, 20℃)的体积流量，通常表达SLPM(标准升/分)，气体质量流量自动换算成体积流量。

在质量流量计的基础上，再加上调节阀门和特定的PID控制电路研制而成底吹氩系统专用质量流量控制器，底吹氩系统专用质量流量控制器具有质量流量计的功能，还能自动控制气体流量。用户可根据需要进行流量设定，质量流量控制器自动地将流量恒定在设定值上，不受系统压力或环境温度的影响。质量流量控制器是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。

DHZQK质量流量控制器安装时要先连接流量计的上游端，上游直管段应满足10DN的.低要求,下游直管段应满足5DN的.低要求;

DHCZK气体层流质量流量控制器，可测流体范围广泛，测量管的振动幅小，对迎流流速分布不敏感，因而安装时无直管段要求。

阀门的控制功能是依靠驱动机构或流体驱使启闭件升降、滑移、旋摆或回转运动以改变流道面积的大小来实现的，调节范围为：0.5-20Nl/min;2-100Nl/min;6-300Nl/min;12-600Nl/min;24-1200Nl/min;30-1500Nl/m。

图1 热式质量流量控制器带液晶显示 

图2 质量流量控制器不带显示

图3 DHCZK气体层流质量流量控制器